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离子渗氮法
离子渗氮法是由德国人B.Berghaus在1932年发明的。该法是在0.1～10Tourr=133.3Pa)的含氮气氛中，以炉体为阳极，被处理工件为阴极，在阴阳极间加上数百伏的直流电压，由于辉光放电现象便会产生象霓红灯一样的柔光覆盖在被处理工件的表面。此时，已离子化了的气体成分被电场加速，撞击被处理工件表面而使其加热。同时依靠溅射及离子化作用等进行氮化处理。
离子氮化法与以往的靠分解氨气或使用氰化物来进行氮化的方法截然不同，作为一种全新的氮化方法，现已被广泛应用于汽车、机械、精密仪器、挤压成型机、模具等许多领域，而且其应用范围仍在日益扩大。
离子氮化法具有以下一些优点：
·提高表面硬度和耐磨性
·提高疲劳强度
·变形量小
·渗氮层脆性小
·一般材料提高耐蚀性
·对环境无污染
渗氮工艺
1、清理待渗氮件的油垢、锈斑、残存切屑和其他污物，如果放在350℃的电阻炉中烘烤，清理效果更佳。
2、待渗氮件上需防渗的部件和不需渗氮的小孔、窄缝应用钢件进行覆盖和屏蔽或用专用涂料保护。
3、装炉
( 1)装炉方式是决定炉温均匀度的重要环节。应根据待渗氮件的开关和结构因素，离子渗氮炉内的散热条件和辉光放电电充密谋的分布规律进行综合考虑后再确定装炉方案。
(2)待渗氮件之间应留有合适的间距，既能满足形成辉光所需要的间距，还要顾及温度均匀度的要求。
4、渗氮过程
(1)气压低于30Pa时点燃辉光，逐渐升高电压和气压进行可控的弧光放电清理和升温。
(2)易畸变的渗氮件在400℃以上应缓慢升温。
(3)及时开启循环冷却水系统，出水温度不应超过60℃。
(4)在临近保温温度时，应经常熄灭辉光目测温度以防超温，达到保温温度后的2h～3h内也应经常熄灭辉光目测温度和温度均匀度，如有误差要及时调整。
(5)在保温期间，整炉工件的温度均匀，如温度均匀超差，可通过调整气压以求改善。
(6)升温和保温过程中，每小时至少记录一次参数的数值和发生的特殊情况。
(7)保温结束后，切断辉光电源，关闭阀门停止供气和抽气，工件在渗氮气氛中随炉冷却。容易产生氢脆的工件，应抽去渗氮气体在真空中冷却。
(8)工件温度降到200℃以下方要充入空气出炉。
(9)出炉后工件未渗氮部件应及时涂油防锈。
(10)渗氮后畸变超差的工件，需经整体或局部加热后方可较直，较直加热温度应低于渗氮温度。 5、渗氮件的质量检验
依次检验外观、硬度、深度、脆性、金相、防渗、畸变等。
离子氮化工艺相关图片：
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